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納米級位置傳感
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電容式位置傳感,亞納米級分辨率,50 kSa/s 數據采集;提供平板、圓柱和螺柱三種探頭形式,量程覆蓋 0.2 mm, 0.5 mm, 1 mm, 2 mm & 3 mm;提供高真空.HV、 超高真空.UHV & 無磁材料.NM 的多版本選擇
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